超高真空(真空类型)
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超高真空(Ultra-High Vacuum, UHV)指压力范围通常在10⁻⁷至10⁻¹² mbar(约10⁻⁵至10⁻¹⁰ Pa)的真空状态。其核心特点是气体分子密度极低、平均自由程极长,从而具备极高的洁净度,能显著延缓样品表面污染,为精确的表面分析提供必要条件。1950年Bayard-Alpert电离计的发明是关键技术突破,UHV系统需采用不锈钢、陶瓷等低除气材料,并依靠涡轮分子泵、溅射离子泵等设备实现与维持。该技术是半导体制造、表面科学、粒子加速器、核聚变实验装置(如EAST)以及材料研究等领域不可或缺的基础。
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