Simone喷嘴（光刻中用于光刻胶和各种有机溶剂的喷嘴）
的有关信息介绍如下：
喷嘴用来供应光刻胶和各种有机溶剂，也用于喷洒显影液、去离子水、表面活化剂以及进行晶圆清洗 。每一个喷嘴对应一种材料 ，而如Atomax二流体雾化喷嘴等新型喷嘴可通过参数调整适应不同类型光刻胶 。在整个光刻工艺中，除了曝光，其余所有的步骤都是在匀胶显影机中完成的。匀胶显影机的主要工艺单元分别有晶圆表面增粘处理、光刻胶旋涂单元、边缘曝光和显影单元等，这些单元的装置都离不开各类喷嘴 。
双流体雾化喷嘴（如Atomax型号）可用于产生雾化效果，其雾化粒径可控，并具备流量和压力调节功能 。这类喷嘴在光刻胶涂覆、边缘珠去除和显影后清洗等环节有所应用 。国内由清华大学与沈阳芯源共同开发研制的国产显影喷嘴已经在整机进行测试 。2025年1月，中芯国际申请了名为“应用于半导体设备的喷嘴清洁装置和半导体设备系统”的专利 。
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