微型气泵

微型气泵

微型气泵是指体积小巧，工作介质为气态，主要用于气体采样、气体循环、真空吸附、真空保压、抽气、打气、增压等多种用途的一种气体输送装置。其发展历史可追溯至20世纪60年代，最初应用于航空航天领域，随后伴随微电子、微流体、纳米技术和MEMS技术的发展而演进，2000年以后，3D打印技术的应用进一步提升了其制造工艺和性能。目前广泛应用于医疗、生物科技、环境检测、通信设备、仪器仪表、化工、环保、汽车、喷绘、食品、空调和实验室等行业 ，其流量范围可从0.2 L/min至600 L/min，压力最高可达30Bar，真空度最大可达-99kPa 。

微型气泵按用途分为：微型负压泵，微型真空泵，微型气体循环泵，微型气泵，微型气体采样泵，微型打气泵，微型抽气泵，微型抽气打气两用泵等；按工作原理分，有隔膜式、电磁式、叶轮式、活塞式、摇摆活塞式、旋片式、膜片式等 。一般医疗卫生、科研、实验室、环保、仪器仪表、化工等行业适用广泛的微型气泵主要指微型真空泵。

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